流量范圍：0-5SCCM-0-500SLPM ；zui大操作壓力： 1000PSIG （6.9 MPa）；主體材質316不銹鋼

001 ， 002 和 003A 型質量流量控制閥門都是常閉的比例控制閥門，可應用在從 0-5sccm 到 0-500 slpm 氮氣量程中。當它與質量流量計結合使用時，就可構成一個閉合回路控制系統 , 該系統允許單獨組件配置（流量計和控制閥門）。 
001 型， 002 型， 003A 型 質量流量控制閥門技術參數 
流量范圍* ：從 0-5SCCM 到 0-500SLPM 
環境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃（ 14 ～ 158 ℉） 
zui大操作壓力： 1000PSIG （ 6.9 MPa ） ，具體請參考表一
安裝方向 ：對位置不敏感 
額定工作電壓 ： 4-11VDC （zui大 24VDC ） 
額定工作電流 ： 150mADC （zui大 275 mADC ） 
閥線圈電阻 ： 80 ± 4 Ω（ 001型和003A型） ； 63 ± 3 Ω（ 002型） 
重 量 ：請參考表一 
結構材質 
主體： 316 不銹鋼 
孔： 316 不銹鋼 
閥組件（接液）： 001 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 
002 型： 302SS ， 316SS ， Sandvik1802 
003A 型： 302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik1802 
密封材質（” O ”型環和閥座）： 001 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton
002 型： Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton 
003A 型： Buna N ， Viton 
* 注：上述流量范圍反映的是氮氣標定下產生的zui小流量和zui大流量，可采用其它介質的流量范圍，當操作參數有疑問時為了保證選型，請咨詢廠家。

表 一

訂貨時須提供以下信息： 
1 、產品型號 
2 、密封材質（閥座 / “ O ”型環） 
3 、接口尺寸和類型 
4 、流量范圍 
5 、介質（氣體類型） 
6 、工作溫度 
7 、入口壓力 P1 
8 、出口壓力 P2 
9 、其它要求