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穩定的結構，針座平臺可快速升降和微調，適合針卡測試 ；大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計；兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動 ；芯片內部線路/電極/PAD測試；VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試；高等院校/研究所/工業用戶實驗室使用 。
產品特性
1. 穩定的結構，針座平臺可快速升降和微調，適合針卡測試
2. 大手柄驅動，操作舒適，無回程差設計
3. 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調移動
4. 芯片內部線路/電極/PAD測試
5. VCSEL/LD/LED/PD的光譜波長/光功率測試
6. 高等院校/研究所/工業用戶實驗室使用
7. 大可用于12英寸以內樣品測試
8. VCSEL/LD/LED/PD的LIV/CV特性測試
9.精密絲桿傳動結構，線性移動
主要技術指標
型號 | LS-WPS150-SC | LS-WPS200-SC | LS-WPS300-SC | ||
外形 | 820mm長* 720mm寬* 890mm高 | 960mm長* 850mm寬* 900mm高 | 1300mm長* 920mm寬* 920mm高 | ||
重量 | 約170公斤 | 約230公斤 | 約300公斤 | ||
電力需求 | 220VC, 50~60Hz | ||||
樣品臺 | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉 | 8英寸，可360度旋轉 | 12英寸，可360度旋轉 | |
行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12*12英寸 | ||
移動精度 | 1um | ||||
樣品固定方式 | 真空吸附 | ||||
背電極測試功能 | 有，樣品臺電學獨立懸空 | ||||
針座平臺 | 規格 | U型平臺，多可以放置8個針座 | U型平臺，多可以放置10個針座 | U型平臺，多可以放置12個針座 | |
行程&調節方式 | 平臺可以快速升降，行程6mm，并帶自動鎖定功能；可以上下微調，行程25mm，升降精度1um | ||||
光學特性
| 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm | |||
顯微鏡移動精度 | 1um | ||||
切換鏡頭方式 | 顯微鏡快速傾仰30度 | ||||
放大倍數 | 20~4000X | ||||
鏡頭規格 | 目鏡：10X; 物鏡：5X, 10X, 20X, 50X, 100X （選配） | ||||
CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數字）/500W（數字） | ||||
點針規格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm | |||
機械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 | ||||
漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時） | ||||
接口形式 | 香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 | ||||
應用方向 | 晶圓測試，光電器件測試，PCB/封裝器件測試，射頻測試，高壓/大電流測試等 | ||||
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