參數

單位

OPP120SM

型號

V- OPPSM120

備注

-

傳感器

SG,ECS

主動軸

TZ

大空載位移[Tz]

um

140

大轉動[Rx, Ry]

urad

25

電壓范圍

V

-20…150

分辨率

nm

14

硬度

N/um

0.71

高度(Z 軸)

mm

50.0

尺寸

mm

65*40

質量

g

180

空載共振頻率(在致動方向)負載=50g

Hz

600

負載響應時間

ms

1.14

電容 (每個電氣接口)

uF

3.15

機械接口(有效負載)

物鏡接口 M25 *0.75()

機械接口(框架)

顯微鏡接口(大 M25 *0.75)

電氣接口

1RG 178B/U 同軸電纜