在微電子和半導體行業中，檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關重要。檢測缺陷的速度越快，您做出響應的速度也就越快。

視場寬敞 30%

DM3 XL 檢驗系統憑借大視場幫助您的團隊更快地識別缺陷，提高您的收益率。充分利用*的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。

在所有亮度等級下實現真彩色成像

自由調節

無需更換燈泡 – 無停機時間

可復制的結果

由于 LED 使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節約潛力。

光學“高手”

DM3 XL 讓您以實惠的價格享受到的光學性能。

采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑：以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實現各種形貌的可視化。

借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。

您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。