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AU640 MX80-F MX61L olympus奧林巴斯光譜儀

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現貨銷售///高價回收olympus奧林巴斯AU640 MX80-F MX61L光譜儀

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能對應300 mm晶圓和17英寸FPD玻璃基板的電動型號(反射透射兼用)

應對明視場觀察到熒光觀察的多種觀察方法。切換物鏡時自動調節連動的亮度光圈等,實現了舒適的檢查環境。配備14×12英寸載物臺,能應對大型樣本。

半導體/FPD檢查顯微鏡MX61L
 

觀察影像實例


晶圓(明視場觀察)晶圓(暗視場觀察)


晶圓(微分干涉觀察)彩色濾色片(透射觀察)

半導體/FPD檢查顯鏡 MX61L 規格

光學系統

UIS2光學系統(無限校正

機身

察方

明視場/暗視場/微分干涉/簡易偏振光/熒光

反射/透射

反射/透射

照明裝置

機身一體型(明視場,暗視場1

照明系統

反射照明

100 W/100 W水銀/75 W氙

透射照明

纖維

單元

電動/手動

手動

行程

32 mm

分辨率/微調靈敏

微調鈕轉動1周移動0.1 mm

zui大樣本高

30 mm

物鏡轉換器

電動型

明視場微分干涉6孔
明暗視場
微分干涉5孔
明暗視場
微分干涉6孔
明暗視場
微分干中心5

手動式

-

行程

14×12 英寸右下手柄:356(X)×305(Y)mm(透射照明范圍356×284 mm)

廣角視場視場22

倒置

雙目/三目觀

正像

三目觀

超寬視場視場26.5

倒置

三目觀

正像

斜三目

附件單元

DUV/IR/電動載物臺/自動

外形尺寸

710(W)×843(D)×507(H)mm(標

重量

51 kg(標

 


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