測量原理測針接觸式測量長度0.2mm至120mm(0.0079inx4.72in)測量范圍Z方向50mm適用于350mm測臂

測量原理 測針接觸式

測量長度 0.2 mm 至 120 mm (0.0079 in x 4.72 in)

測量范圍 Z 方向 50mm適用于350mm測臂；25mm適用于175mm測臂

測量系統（Z方向） 電感傳感器*, 高精度, 高線性度

測針分辨率( Z 方向) 0.19 um /175mm測臂

系統分辨率（Z方向） 0.04 um

直線度誤差（X方向）: < 1um/120mm

X/Z方向定位精度 1 um

測力 1mN to 120mN

測量角度 下降角度到880, 上升角度為770

測量速度（X方向） 0.2mm/s...4mm/s

接觸速度（Z方向） 0.1mm/s to 1 mm/s

定位及返回速度（X方向） 0.2 mm/s 至 8 mm/s

定位速度(Z方向) 0.2 mm/s 至 10 mm/s

驅動器可調角度 +/-45°

測臂長度 175 mm;350 mm

測針針尖半徑 25 um

角度測量誤差 U95<3.0min

半徑測量誤差 U95=±5 um R10mm-100mm

                      U95=±7um R100mm-1000mm

距離測量誤差 ±(2+l/50)um