該儀器采用了主動擾動抑制技術、快速應力形變分析算法、共光路橫向錯位干涉、二維偏振相移等技術,大口徑、大面形、抗高溫空氣擾動等關鍵技術。可對6英寸樣品應力和形變進行全場、快速、直接測試。適用于微電子、光電子器件科研生產中電子基片和薄膜的面形分布、應力分布和應力釋放過程的測試,為提高電子元器件質量和可靠性提供數據支持。
可測Si、CaAs、InGaAs和Ge等具有反光性能的薄膜或拋光片
基片和薄膜面形測試
薄膜應力分布測試;
應力和形變釋放過程測試
變溫基片形變和薄膜應力測試;
具有測試過程數據記錄功能,輸出結果類型:三維立體顯示、二維偽彩色顯示、數據表格、溫度與應力曲線
技術參數:
測試樣片尺寸:2~6英寸
激光波長:650nm±30nm
激光功率:≥15mW
樣品溫控范圍:室溫~200℃
溫度均勻性:±2%±2℃
溫度控制精度:±2%±1℃
溫度顯示分辨率:0.1℃
曲率半徑測試范圍:∣R∣≥8m
曲率半徑測試精度:5%
應力測量范圍:50MPa~1GPa
應力重復測量精度:±10%±10MPa
應力測量顯示分辨率:10MPa
測試時間:≤3min/片
電源:AC 220(1±10%)V,50(1±5%)Hz
功耗:≤350W
結構特征:臺式
外形尺寸(W×H×D):≤520mm×630mm×850mm
重量:約80kg
3052型紅外氣體分析儀
紅外氣體分析儀適用于常量、微量的二氧化硫分析儀、一氧化碳分析儀、二氧化碳分析儀、甲烷分析儀等氣體的分析,全量程覆蓋,包括0-100ppm,0-1000ppm,0-1%,0-10%,0-100%
標準3U機箱,能安裝在成套設備中
大屏幕LCD顯示,全中文菜單操作,且有操作提示功能,操作簡單、高效
標準RS232數字通訊功能,可直接與電腦或DCS連接 ,可選配配有標準上位機軟件
輸出為同步、隔離的(0/2/4-20)mA及(0/0.5/1-5)V信號可選,默認為(4-20)mA和(1-5)V,電流輸出負載≤400Ω,電壓輸出負載≥250Ω
具有故障、B警指示與提示功能
可存儲3000條完整記錄,峰值可查詢
可選配微型打印機
工作原理:
該紅外氣體分析儀可用于二氧化硫分析儀、二氧化碳分析儀、一氧化碳分析儀、甲烷分析儀等。屬于電調制非分光式(NDIR)紅外線氣體分析器,其工作原理是基于不同種類的氣體對紅外線的選擇性吸收效率不同。儀器采用單光源、單管隔半氣室及檢測器,分析精度高、穩定性好。
技術參數:
檢測原理:紅外線
檢測方式:泵吸式
重復性: ≤±1%
零點漂移:≤±1%F.S/15d
量程漂移:≤±1%F.S/15d
線性誤差:≤±1%F.S
分辨率:0.01%F.S
響應時間:T90≤15s
被測氣體的流量:0.5~3L/min
使用環境溫度:-10~55℃;相對濕度:≤90%
電源:220V±10% ;50±0.5Hz 150W
測量值輸出:0~20mA; 0~10mV; 4~20mA;1~5V(按用戶要求提供,在*大負載600Ω內不受負載影響,數字式顯示。)
應用領域:
紅外氣體分析儀,高精度紅外氣體分析儀,北京紅外氣體分析儀,紅外氣體分析儀,一氧化碳分析儀,二氧化硫分析儀,二氧化碳分析儀,甲烷分析儀,碳氫分析儀,四氯化碳分析儀,六氟化硫分析儀,氨氣分析儀
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