樣品傳輸系統為模塊式，便于組合
用途
●  提高各種材料的粘接性、表面改質處理
●  清洗各類基板。
●  電子部品、材料表面改質。
●  去除有機物和自然氧化膜。

特點
●  體積小，節省空間。
●  選用小型腔體，反應效率高。
●  更容易嵌入生產線使用。
●  可通過操作面板自由切換等離子模式。
●  配備冷卻反應臺。

內槽


技術規格