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等離子清洗機(jī) PDC610

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小型、多段式等離子清洗機(jī)

用途
●  提高各種材料的粘接性、表面改質(zhì)處理
●  灰化、蝕刻處理
●  塑料封裝前處理
●  印刷基板鍍層前處理
●  LED關(guān)聯(lián)部品處理
●  電子部品清洗
●  光刻膠剝離或表面殘留物去除
●  光學(xué)、金屬、機(jī)械部品等精密部件的清洗
●  包含氟化樹脂的樹脂類產(chǎn)品表面改質(zhì)
●  FCC對應(yīng)

特征
●  600W的小型高輸出功率
●  電極可選擇1·2·3段(采購時)
●  可處理縱型的試料收納盒
●  可選擇RIE/DP模式(采購時)
●  數(shù)據(jù)記錄器(選配)
●  適配點(diǎn)記憶功能(選配)

規(guī)格

型號PDC610
等離子模式RIE/DP(固定模式)
電極構(gòu)造3段獨(dú)立平行平板(固定)
高頻輸出Max600W
頻率13.56MHz
控制·顯示方式PLC·觸摸屏
反應(yīng)腔尺寸W350×D270×H300mm
反應(yīng)腔材質(zhì)A5052
反應(yīng)氣體2系統(tǒng)(Ar、O2)
填充氣體N2或干燥空氣
真空泵油泵(約345L/分)·標(biāo)配
外形尺寸W600×D722×H700mm
外裝材質(zhì)不銹鋼
電源3相 AC200 50/60Hz 15A


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