EMS1050 低溫灰化儀
應用領域：
l 生物芯片領域
l 科研材料、光學材料研究
l 電子半導體領域
l 高分子材料研究
l 電化學、零部件處理
l 有機材料的灰化、刻蝕
儀器性能：
l 自動調頻高頻發生器
l 內置旋轉真空泵
l 此系統通常使用氧及氬的混合氣體，氧去除有機物質（碳氫化合物），氬對樣品表面進行刻蝕
l 低溫等離子灰化、刻蝕、清洗 (0-150 watts RF)
l 真空監測.
l 雙重氣流針閥控制
l 精確時間定時
l 微處理器程序設置
l LCD狀態數字顯示
l 腔室為圓柱形，樣品裝載為抽屜式抽拉系統，樣本操作方便
l 聚碳酸脂安全防護
技術參數：
| 體積 | 450mm(W)x350mm(D)x300mm(H) |
工作腔室 | 派熱克斯玻璃 160mm(L)x110mm(Dia.) (硼硅酸鹽玻璃為標準配置) |
重量 | 25Kg |
等離子體輸出 | 大150w，13.56 MHz 。 |
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真空度 | >ATM to 1 x 10-5mbar；通常 0.5 mbar to 1.0 mbar. |
時間控制 | 長可設置99小時59分鐘 |
雙重氣流控制 | 雙重針閥氣流控制，可選1種或2種氣體（校準 5-100cm3/min air at A.T.P) |
電源 | 230 V， 50Hz (3 amp Max) |
訂購信息：
貨號 | 產品名稱 | 規格 |
93000 | EMS 1050 低溫灰化儀 | 臺 |
91005-F | Rotary Vacuum Pump (Fomblin) | 個 |
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