當前位置：儀器網(wǎng) > 產品中心 > 行業(yè)專用儀器>其它行業(yè)專用儀器>其它> ZYGO 激光干涉儀
返回產品中心>ZYGO 大口徑激光干涉儀由4英寸激光干涉儀主機經過擴束為大口徑系統(tǒng)，通常為雙通道，即4英寸測量通道和大口徑測量通道，具有多種高精度測量模式，如相位調制、波長調制、動態(tài)測量等。
? 激光干涉儀主機(GPI™ XP/D, VeriFire™ XP/D, PE, AT+, MST 或波長調制主機)
? MUX分光器（光束轉換器）
? 擴束器（12英寸、18英寸、24英寸 、32英寸、36英寸可選）
? 機械相位測量裝置用于12英寸和18英寸、24英寸及以上采用波長調制測量技術
? 參考光束-透射平板和參考平板是光學系統(tǒng)必需的附件
? 調整架-用于調整參考光束和測試光束的位置
大口徑激光干涉儀系統(tǒng)組件可以與干涉儀主機分開購買，如果您需要系統(tǒng)測量和配置方面的具體信息請
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