當(dāng)前位置:儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 實驗室常用設(shè)備>其它實驗室常用設(shè)備>鍍膜機> VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀
返回產(chǎn)品中心>VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀
參考價 | 面議 |
- 公司名稱 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2023/2/14 10:48:53
- 訪問次數(shù) 910
當(dāng)前位置:儀器網(wǎng) > 產(chǎn)品中心 > 實驗室常用設(shè)備>其它實驗室常用設(shè)備>鍍膜機> VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀
返回產(chǎn)品中心>參考價 | 面議 |
產(chǎn)品簡介:VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀配備有兩個靶槍,一個弱磁靶用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,且可使用的材料范圍廣,是一款實驗室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。
產(chǎn)品型號 | VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀 |
主要特點 | 1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。 2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。 3、體積小,操作簡便。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電源:220V/50Hz 2、濺射靶數(shù)量:2 3、靶槍冷卻方式:水冷 4、極限真空度:7.4E-5pa 5、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm 6、真空系統(tǒng):VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵 7、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時間暴露大氣) 8、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制 9、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 10、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃) |
產(chǎn)品規(guī)格 | 主機尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm |
*您想獲取產(chǎn)品的資料:
個人信息: