該導航系統可以將CAD數據的布線和大規模集成電路的設計圖形和FIB的觀察圖像相對應起來。當CAD系統中的坐標位置，樣品臺就會通過鏈接移動到相應位置，就可以獲得相應位置的SIM圖像。同時，CAD數據和SIM圖像也可以重疊顯示。因此，很容易檢查到下層布線的狀態，實質上提高了分析的效率，有利于進一步進行修理工作。