德國SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測量儀產品簡介：

EddyCus®TF地圖5050系列是高分辨率非接觸式成像設備系列，用于zui大 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)的采樣區域。

臺式設備可在各個測量點自動測量，通常 X 和 Y 方向的間距為 1 毫米(40 密耳)，以生成準確的映射。

該系統每秒可動態獲取數百個測量值，從而生成每個樣本包含多達 250,000 個測量點的高分辨率圖像。

臺式設備允許根據其設置對金屬厚度、薄層電阻或電各向異性進行準確成像。

由此產生的特性圖像提供了對層均勻性和缺陷密度的深刻洞察，因此為材料和工藝優化提供了深刻的基礎。應用涉及濺射、蒸發、ALD、CVD。

德國SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測量儀類型：

設備提供不同的傳感器配置，使用光學元件的渦流傳感器。

. 薄層電阻成像 – EddyCus® TF map 5050SR [mOhm/sq, Ohm/sq, OPS]

. 金屬厚度成像 – EddyCus® TF map 5050MT [nm, µm, mm, mil]

. 電阻率和電導率成像 – EddyCus® TF 圖 5050RM [mOhm cm, MS/m]

. 電(非)各向同性成像 – EddyCus® TF map 5050A

德國SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測量儀產品特點：

. 非接觸式成像

. 快速準確

. 具有 1 毫米間距(或者 0.25 至 10 毫米)的高分辨率成像

. 采樣區域為 500 x 500 毫米(20 x 20 英寸)

. *的層均勻性分析和缺陷檢查

. 隱藏和封裝導電層的表征

. 強大的軟件集成分析功能(線條輪廓、直方圖分析、選擇區域分析、統計)

. 混合系統(例如組合電子和光學成像)

. 系統的質量控制，進貨檢驗，出貨檢驗

. 技術：非接觸式渦流傳感器

. 取樣面積：500 x 500 mm

. 推薦的樣品尺寸：1 到 20 英寸/25 毫米到 500 毫米

. 測量：

薄層電阻范圍：0.1 mOhm/sq 到 10,000 Ohm/sq

金屬層厚度：1 nm 至 2 mm(其他應要求提供)

電各向異性：0.3 – 3

. 流程評估

沉積(濺射、蒸發、ALD、CVD、電鍍、印刷、鑄造等)

摻雜和退火

燒蝕(蝕刻、拋光、激光、EDM 等)

德國SURAGUS EddyCus® TF map 5050系列薄層電阻測量儀軟件和設備控制：

. 易于使用的設置

掃描尺寸選擇

測量間距選擇

開始測量

. 實時數據聚合

. 接近邊緣的測量

自動掃描或手動測量

. 易于使用的統計分析選項

選擇性圖像分析

線型分析

直方圖分析

統計數據(zui小值、zui大值、平均值、方差)

. 出口

使用不同的配色方案導出圖像

PDF 報告(示例報告)

數據導出為txt以導入excel或origin

. 數據存儲、數據加載和重新分析;