BASF公司開(kāi)發(fā)的AIXTRON專用紅外測(cè)溫儀擁有專有技術(shù)，采用藍(lán)寶石光管作為光學(xué)鏡頭，測(cè)溫范圍覆蓋100-1800℃測(cè)溫精度高達(dá)1.5℃, 測(cè)溫重復(fù)性0.1℃，適用于AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD系統(tǒng)。

主要特點(diǎn)

詳細(xì)說(shuō)明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅(qū)者, BASF已將其溫度測(cè)量技術(shù)專長(zhǎng)應(yīng)用于光學(xué)溫度測(cè)量. EXACTUS紅外測(cè)溫儀取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測(cè)量中提供了顯著的性能優(yōu)勢(shì) .

EXACTUS紅外測(cè)溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測(cè)量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長(zhǎng)測(cè)量低溫的能力使得過(guò)程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng)技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢(shì). 高度敏感的電子學(xué)和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長(zhǎng)的探測(cè)器來(lái)測(cè)量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測(cè)量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.

BASF公司開(kāi)發(fā)的AIXTRON專用紅外測(cè)溫儀擁有專有技術(shù)，采用藍(lán)寶石光管作為光學(xué)鏡頭，測(cè)溫范圍覆蓋100-1800℃測(cè)溫精度高達(dá)1.5℃, 測(cè)溫重復(fù)性0.1℃。

AIXTRON專用紅外測(cè)溫儀可匹配AIXTON G3, AIXTRON G4， AIXTRON G5的MOCVD的測(cè)溫系統(tǒng)。

典型應(yīng)用

技術(shù)參數(shù)