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富萊MX12顯微鏡

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FLY-MX12顯微鏡光學(xué)技術(shù)在亮度、對(duì)比度和可操作性方面達(dá)到高度,適合晶圓或者顯示面板的高級(jí)檢查FLY-MX12(落射照明型)z大樣品尺寸:?300mm晶片載物臺(tái)行程:350×300mm放大倍率:50X-1000X(依目鏡和物鏡而定)高對(duì)比度,幾乎無雜光為地減少雜光現(xiàn)象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能

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FLY-MX12顯微鏡光學(xué)技術(shù)在亮度 、對(duì)比度和可操作性方面達(dá)到高度, 適合晶圓或者顯示面板的高級(jí)檢查


FLY-MX12(落射照明型)

z大樣品尺寸:  ?300mm晶片

載物臺(tái)行程:350 × 300mm

放大倍率:50X - 1000X

(依目鏡和物鏡而定)


高對(duì)比度,幾乎無雜光

為地減少雜光現(xiàn)象,物鏡涂有特殊涂層,其表面具有抗雜散光的性能。另外,目鏡筒內(nèi)部的反射次數(shù) 也減少了,進(jìn)一步減小了出現(xiàn)雜光的可能性,同時(shí)獲得了的高對(duì)比度。


半復(fù)消色差物鏡

富萊半復(fù)消色差物鏡實(shí)現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn),高透過率鏡片和的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像


半復(fù)消色差物鏡

富萊半復(fù)消色差物鏡實(shí)現(xiàn)了自然色彩高度再現(xiàn),高透過率鏡片和的鍍膜技術(shù)保證獲得高清晰圖像



調(diào)節(jié)手輪集中在機(jī)身前部

主要調(diào)節(jié)手輪和按鈕均位于底座前部, 在觀察樣品的同時(shí)可進(jìn)行快速、 方便的操作,長時(shí)間觀察能地減輕疲勞。


防靜電能力更強(qiáng)

機(jī)身、載物臺(tái)、目鏡筒和各調(diào)節(jié)手輪均涂有消靜電涂層,提高了抗污染能力,防止樣品因靜電感應(yīng)而受損,從而提高成品率。


諾瑪斯基DIC觀察法(選配)

采用單棱鏡(Senarmont)系統(tǒng),只 需在物鏡轉(zhuǎn)換器插入一個(gè)諾瑪斯基棱鏡,  即可以 任一倍率進(jìn)行DIC觀察。即使進(jìn)行低倍率觀察, DIC圖像也同樣清晰而鮮明,  幾乎沒有色陰影。 高對(duì)比度型DIC滑塊能以更高的靈敏度形成DIC 圖像。


X-Y微調(diào)操作手輪

X-Y微調(diào)操作手輪的固定位置*,  位于接近操作員之處,  這一特 性使操作員不必伸長手臂移動(dòng)載物臺(tái)。樣品移動(dòng)和對(duì)焦可由單 手在桌面上的完成,使操作員得以將注意力集中在樣品觀察上。


明場(chǎng)觀察

無限遠(yuǎn)光學(xué)技術(shù)產(chǎn)生高亮度、高對(duì)比度的圖像。

暗場(chǎng)觀察

新開發(fā)的暗場(chǎng)照明光學(xué)技術(shù)極大地提高了圖像亮 度,增強(qiáng)了檢測(cè)樣品的微小劃痕和形態(tài)的能力。


配置

光學(xué)系統(tǒng)

 無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

光學(xué)放大倍數(shù)

 50倍-1000倍

落射照明器

進(jìn)口明暗場(chǎng)反射照明器,帶可變孔徑光闌,視場(chǎng)光闌,中心可調(diào)

三目頭

 無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,瞳距調(diào)節(jié):50mm~76mm,兩檔分光比雙目:三目=100:0

目鏡

 高眼點(diǎn)大視野目鏡SWH10X-H/23mm,視度可調(diào)

物鏡

 5倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡    NA:0.15   WD:15mm

 10倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡   NA:0.3    WD:8.4mm

 20倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡   NA:0.40   WD:11.9mm

 50倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡   NA:0.75   WD:3mm

 100倍明暗場(chǎng)半復(fù)消色差物鏡  NA:0.9   WD:1mm

調(diào)焦機(jī)構(gòu)

 低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程32mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。

載物臺(tái)

 14*12英寸載物臺(tái),X、Y方向同軸調(diào)節(jié);含快速移動(dòng)裝置

 有效移動(dòng)行程:356X305mm     透射光照明區(qū)域:356X284mm

 機(jī)架

 反射型機(jī)架,選配透射光源

燈箱

 LED長壽命光源

相機(jī)

 富萊630萬彩色相機(jī)

軟件

 富萊顯微圖像軟件

選配

 長工作距離物鏡、偏光、微分干涉、紅外功能等功能

外觀尺寸/重量

 640*701*650mm(長*寬*高)  /  約65KG



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