Z軸立柱

標準立柱

高立柱

(垂直移動: 300mm)

(垂直移動: 500mm)

旋轉工作臺

旋轉精度(JIS B 7451-1997)

徑向

(0.02+3.5H/10000)μmH: 為測量高度 (mm)

軸向

(0.02+3.5X/10000)μm X: 到旋轉工作臺軸的距離 (mm)

旋轉速度

2, 4, 6, 10rpm (自動定心: 20rpm)

工作臺有效直徑

Φ300mm

調心范圍

±5mm

調水平范圍

±1o

臺面承重

小于80kg (自動定心: 65kg)

測量直徑

小于Φ356mm

工件直徑

小于Φ680mm

垂直移動(Z軸立柱)

移動直線度(λc2.5)

窄范圍

0.05μm/100mm

寬范圍

0.14μm/350mm

0.2μm/550mm

與轉臺軸平行度(母線要素基準)

0.2μm/350mm

0.32μm/550mm

移動范圍

350mm

550mm

定位速度

小于60mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢測高度

350mm

550mm

檢測深度(使用標準測頭時)

Φ32×104mm (深度),Φ12.7×26mm (深度)

X軸

直線度 (λc2.5)

0.4μm/200mm

與轉臺軸垂直度 (母線要素基準)

0.5μm/200mm

移動范圍

225mm (–25mm ~ +200mm 轉臺中心)

***: 50mm/s (測量時: 0.5, 1, 2, 5mm/s)

檢出器

測力

約 40mN

標準測頭, 材質

Φ1.6mm 硬質合金

范圍

標準

±400μm/±40μm/±4μm

跟蹤

±5mm

其他

旋轉機構 (0? ～ 270? 的范圍內以1? 增量旋轉)

其他

氣壓

0.39MPa

空氣消耗量 (標準狀態)

45L/min (120L/min 以上氣源)

重量

測量主體

650kg

670kg

防震臺架

170kg