氣體質量流量控制器/流量計

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公司名稱 星堯（天津）自動化設備有限公司
品牌
型號
所在地 天津市
廠商性質其他
更新時間 2024/6/21 11:48:44
訪問次數 128

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特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

產品簡介

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氣體質量流量控制器（MassFlowController，以下簡稱MFC）可對氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（MassFlowMeter，以下簡稱MFM）可對氣體的質量流量進行精密測量

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氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter，以下簡稱MFM）可對氣體的質量流量進行精密測量。本產品應用的行業主要有：化學工業、石化工業、LNG工業、半導體材料和微電子工業、醫藥工業、特種材料研究、環保和真空行業等。使用本產品的設備主要有：真空鍍膜設備、混氣配氣設備、光纖熔煉設備、晶體制備設備、微電子設備、微反應裝置、氣相色譜儀及其它分析儀器等。

特點：

★ 穩定可靠、響應時間短、標定精度和重復精度高

★安裝方便，無安裝位置和直管段要求，操作簡單

★可配合流量顯示儀或其他顯示儀表使用，也可通過模擬/數字信號轉換器（AD/DA轉換器）配合計算機使用

技術參數：

基本型號	C51 氣體質量流量控制器	C51M 氣體質量流量計
流量規格1(N2標定)	0～5,10,20,30,50,100,200,300,500 SCCM
	0～1,2,3,5,10,20,30 SLM
調節閥類型	常閉式	無
量程比	(2～100)％F.S. 或50:1
流量分辨率	0.1％F.S.
準確度	±1％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
線性	±0.5％F.S. (≤15SLM)
	±2％F.S. (＞15SLM)
重復精度	±0.2％F.S.
響應時間	≤1sec	≤1sec
工作壓差范圍	0.1～0.5MPa (≤10SLM)	0.02MPa～3MPa
	0.1～0.3MPa (＞10SLM)
耐壓	3MPa
工作環境溫度	5～45℃
電纜接頭	DB15pin(針形)
輸入輸出信號	4～20mA或0～+5.00V (輸入阻抗大于100kΩ，輸出電流不大于3mA)	4～20mA或0～+5.00V (無輸入信號，輸出電流不大于3mA)
供電電源要求	+24VDC(≥300mA)	+24VDC(≥150mA)
對外單點泄漏率	≤1×10^-9Pa·m³/S(He)
介質接觸材質	316，316L，密封填料
密封材料	丁腈橡膠NBR，三元乙丙橡膠EPDM，氯丁橡膠CR，硅橡膠VMQ, 氟橡膠FKM，全氟橡膠FFKM，聚四氟乙烯PTFE
管道接頭尺寸	VCR型接頭：1/4”
	雙卡套型接頭：1/8”、1/4”、3/8”或φ3、φ6、φ8、φ10 mm
外形尺寸	長×寬×高：127×30×122 mm
凈重量	0.9kg	0.75kg