Alpha-StepD-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D測量

Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的一個優點是它是一種直接測量，與材料特性無關?？烧{節的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量。通過測量粗糙度和應力，可以對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。

功能 

臺階高度：幾納米至1000μm 

低觸力：0.5至15mg 

視頻：500萬像素率彩色攝像頭 

梯形失真校正：消除側視光學系統引起的失真 

圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差 

緊湊尺寸：小占地面積的臺式探針式輪廓儀

主要應用 

臺階高度：2D臺階高度 

紋理：2D粗糙度和波紋度 

形式：2D翹曲和形狀 

應力：2D薄膜應力

應用領域 

半導體和復合半導體 

SIMS：二次離子質譜 

LED：發光二極管 太陽能 

MEMS：微電子機械系統 

汽車 

醫療設備