產(chǎn)品描述P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境

產(chǎn)品描述

P-7臺式探針式輪廓儀支持從幾納米到一毫米的臺階高度測量，適用于生產(chǎn)和研發(fā)環(huán)境。該系統(tǒng)可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。作為臺式探針輪廓儀平臺提供了的性價比。

主要功能

·        臺階高度：幾納米至1000μm

·        微力恒力控制：0.03至50mg

·        樣品全直徑掃描，無需圖像拼接

·        視頻：500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

·        圓弧校正：消除由于探針的弧形運動引起的誤差

·        軟件：簡單易用的軟件界面

·        生產(chǎn)能力：通過測序，模式識別和SECS/GEM實現(xiàn)全自動化

主要應(yīng)用

·        臺階高度：2D和3D臺階高度

·        紋理：2D和3D粗糙度和波紋度

·        形狀：2D和3D翹曲和形狀

·        應(yīng)力：2D和3D薄膜應(yīng)力

·        缺陷復(fù)檢：2D和3D缺陷表面形貌

工業(yè)應(yīng)用

·        大學(xué)、研究實驗室和研究所

·        半導(dǎo)體和化合物半導(dǎo)體

·        LED：發(fā)光二極管

·        太陽能

·        MEMS：微機(jī)電系統(tǒng)

·        數(shù)據(jù)存儲

·        汽車

·        醫(yī)療設(shè)備

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