TC-wafer校準儀是一款應用于晶圓溫場均勻性實時測量校準的儀器設備,并能生成報告。
產品特點：
支持最多20路實時測量晶圓溫度；
溫度均勻性實時曲線圖和數值顯示；
采集數據Excel表格導出，并生成報表；
晶圓溫點分布直觀顯示并自動生成校準報告；
可快速更換TC-wafer及自定義功能;
大屏高分辨率顯示；
數據最多采集10次/秒；
65瓦Type-C快速充電；
內置大容量電池，使用可達4小時；
10000條數據存儲量；
支持多種傳輸方式，如U盤、藍牙、無線網絡；
便攜一體化設計；
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