微聚焦加強型X射線裝置：可測試各類極微小的樣品，即使檢測面積為0.002mm2的樣品也可輕松、精準檢測

變焦裝置及位置補償算法：可對各種異性凹槽進行檢測，凹槽深度測量范圍可達0-30mm

自主研發(fā)EFP算法：多層多元素、各種元素及有機物，甚至有同種元素在不同層也可精準測量

微米級移動精度：高精密XY移動滑軌，實現(xiàn)多點位、多樣品的精準位移和同時檢測，移動精度可達5um，輕松應對極微小樣品檢測

的解譜技術：減少能量相近元素的干擾，降低檢出限