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MSE-4200S 電子封裝類專用氦質譜檢漏儀

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島津氦質譜檢漏儀搭載了新型的CPU,采用專用的分流泵及中間排氣系統,實現了的低BG恢復性能和操作性。

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產品信息

主要特點

  • 檢出靈敏度:10-13-100Pa m3/s (He)
  • 保證生產節拍 6sec/c,BG:2.5X 10-10Pa m3/s (干燥氮排氣時)
  • 的BG恢復性能和操作性
  • 大屏幕液晶觸摸屏面板,操作簡單
  • 分析管采用長壽命的鍍氧化釷銥燈絲(內置兩根)

廣州領拓儀器科技有限公司

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