Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環境，通過集成符合人體工學的觀察目鏡、遠程控制手柄和強大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時無需自行開發或整合所有模塊，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標記、數據分析到輸出客戶體系報告的全流程任務，確保檢測結果的標準化與可重復性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個工作流程無縫銜接。

“交鑰匙”式晶圓檢查解決方案 

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡旨在為客戶提供簡單易用的操作環境，通過集成符合人體工學的觀察目鏡、遠程控制手柄和強大的操作軟件等配置，使得客戶在使用時無需自行開發或整合所有模塊，就可以完成對整個晶圓級樣品的換樣、缺陷標記、數據分析到輸出客戶體系報告的全流程任務，確保檢測結果的標準化與可重復性，以工程化的思維解決碎片化的需求，使整個工作流程無縫銜接，讓客戶聚集于業務決策而非技術細節。

實時測量，提供準確數據

Miracle Inspection系列晶圓級檢測顯微鏡可提供多種測量方案，通過搭配自動對焦模組，可實時采集待測樣品多個維度下的信息。在實時對樣品表面進行特征線性尺寸、角度、圓直徑、矩形邊測量等基礎測量的同時，基于嵌入式處理單元搭建模型環境，從而實現數據本地實時處理和模型訓練，避免數據傳輸或云端引入的延遲來進行實時二維材料層數識別或者光學元器件的自動分揀，最終根據客戶導入的報告體系，生成最終的檢測報告。

 延續蔡司品質，歷經百年的光學質量

整合ICCS光學優勢，實現更好的光學成像效果 提供明場、暗場、DIC、偏光以及熒光等多種方式來對樣品進行觀察和檢測。

偏光（a）

偏光（b）

暗場

明場

熒光檢測（a）

熒光檢測（b）

DIC(a)

DIC(b)

豐富的物鏡選項

蔡司物鏡提供的光學性能，通過高分辨率圖像顯示微小特征結構，無論是材料紋理還是結構細節，都能精準呈現。 復消色差物鏡在消色差的同時，保證在400-700nm內有更高透過率，并且通過更高的數值孔徑實現更高的空間分辨率，適合高精度量測任務。